Геттеры

ГЕТТЕРЫ (англ. getter) (газопоглотители), в-ва, способные связывать газы (кроме инертных) в результате хим. взаимод. или адсорбции. Используются для создания, поддержания или повышения вакуума в вакуумных приборах или системах, для очистки инертных газов от примесей. Применяют распыляемые (испаряющиеся) и нераспыляемые (неиспаряющиеся) геттеры. К первым относится Ва, связывающий газы в результате хим. взаимод. как в газовой фазе, так и после осаждения на стенках прибора (металлич. зеркало). Его производят в виде контейнеров-пилюль (Ва в железной, никелевой или медной оболочке, техн. название соотв. феба, ниба, куба), сплавов с Al, Th, Ti, Та, Be (напр., сплав Ва с А1 с добавками Ni под названием "альбани") либо в виде хим. соединений, к-рые легко разлагаются с выделением Ва.

Нераспыляемые геттеры-Та, Ti, Zr, Nb, Th, а также La, Се и др. РЗЭ-связывают газы гл. обр. в результате р-рения или адсорбции. Эти геттеры помещают в приборы в виде тонкодисперсного порошка (нанесенного на пов-сти нек-рых деталей), пористых таблеток, трубок, колец и др. либо из них изготовляют детали приборов.

Литература

Черепнин Н. В., Вакуумные свойства материалов для электронных приборов, M.v 1966. П. В. Ковтуненко.

Комментарии*

Дополнения к описанию геттеров:

  • Механизмы действия:

    • Химическое взаимодействие (образование соединений, например, оксидов, нитридов)
    • Абсорбция (растворение газов в объеме металла)
    • Адсорбция (связывание на поверхности)
  • Современные применения:

    • Полупроводниковая промышленность (создание высокого вакуума в процессе производства микросхем)
    • Вакуумная упаковка пищевых продуктов и фармацевтических изделий
    • Электронно-лучевые приборы и ускорители частиц
    • Солнечные коллекторы и термоядерные установки
  • Дополнительные примеры:

    • Циркониево-алюминиевые сплавы (Zr-Al) как высокоэффективные неиспаряющиеся геттеры
    • Использование геттеров в газонаполненных лампах для поддержания чистоты газовой среды
  • Процесс активации:

    • Большинство геттеров требуют термической активации (нагрева) для достижения максимальной газопоглотительной способности
*Подобраны с помощью LLM, верифицированы, но возможны неточности.