МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКОВ МЕТОД

МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКOВ МЕТОД, используется для изучения взаимодействий атомов и молекул в условиях их однократных (единичных) столкновений (упругих, неупругих и сопровождающихся хим. р-цией), а также для исследования св-в изолир. атомов и молекул, взаимод. газовых потоков с пов-стью твердого тела, эпитаксиального наращивания тонких пленок и т.п. Основан на создании м о л е к у л я р н ы х п у ч к о в-направленных потоков атомов, молекул, радикалов, др. нейтральных частиц, движущихся в высоком вакууме практически без взаимод. между собой. Мол. пучки характеризуются распределением частиц по скоростям и внутр. степеням свободы, интенсивностью (числом частиц, прошедших через телесный угол за секунду), средней скоростью частиц и их кинетич. т-рами. Св-ва мол. пучков зависят от методов их получения.

Источники. Наиб. применение имеют мол. пучки, получаемые в эффузионных и газодинамич. источниках. В э ф ф у з и-о н н о м и с т о ч н и к е пучок формируется при помощи диафрагм, вырезающих часть потока газа, истекающего из камеры в вакуум через небольшое отверстие. Диаметр отверстия D и давление в камере подбирают таким образом, чтобы выполнялось условие: число Кнудсена Кn = l/D >> 1, где l-средняя длина своб. пробега частиц в источнике. При этом имеет место мол. истечение газа (эффузия), а не газодинамич. поток. Распределение частиц в пучке по скоростям является максвелловским и соответствует т-ре источника. Вследствие этого поступат. энергия частиц не превышает ~0,5 эВ. Т. наз. многоканальные формирователи пучков позволяют значительно повысить интенсивность пучка при таком же расходе газа. В эффузионных источниках обычно получают пучки активных частиц: атомов водорода, хлора, фтора, разл. металлов.

Г а з о д и н а м и ч е с к и е и с т о ч н и к и основаны на использовании своб. расширения струи при истечении газа в вакуум; при этом выполняется условие Кn << 1. Мол. пучок формируется посредством вырезания ядра струи скиммером- конусообразной диафрагмой с острыми кромками. Полная энтальпия газа в источнике преобразуется в кинетич. энергию направленного движения частиц со средней скоростью и и кинетич. энергию хаотич. движения частиц в системе координат, движущейся со скоростью и. Степень преобразования энтальпии в кинетич. энергию направленного движения обычно определяется числом Маха Ма = (2/g)1/2и/a, где a-наиб. вероятная случайная скорость частиц в системе координат, движущейся со скоростью u, g = Cp/Cu-отношение уд. теплоемкостей газа при постоянном давлении и объеме соответственно. При ускорении газа максвелловское распределение частиц по скоростям нарушается, ф-ция распределения сужается, т. е. энергия частиц соответствует более низким кинетич. т-рам; кроме того, молекулы в таком пучке "охлаждены" и по внутр. степеням свободы. В случае получения мол. пучка из смеси газов можно добиться того, чтобы при определенных условиях в источнике все молекулы независимо от их мол. массы имели близкие средние скорости, т. е. чтобы кинетич. энергия молекул в пучке была пропорциональна их мол. массам. Обычно с целью получения высокой кинетич. энергии (до неск. десятков эВ) в легкий газ-носитель, обычно гелий, добавляют 1-5% более тяжелых частиц.